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摘要:
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直线电机进给系统机械系统动态特性研究
直线电机
进给系统
机械系统
动态特性
速度环增益
化学机械系统的微小化与节能
微小化
微通道
微型化学机械系统(MCMS)
换热器
反应器
节能
机械系统精度分配与评价方法的研究
机械系统精度
精度分配
精度评价的目标函数
小型雕刻机机械系统设计
雕刻机
机械结构
步进电机
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 LETI的微型光电机械系统
来源期刊 导航与控制:译文集 学科 工学
关键词 微型光电机械系统 光电效应 网路光学开关 振动传感器
年,卷(期) 2004,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 23-29
页数 7页 分类号 TP212.14
字数 语种 中文
DOI
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2004(0)
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研究主题发展历程
节点文献
微型光电机械系统
光电效应
网路光学开关
振动传感器
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
导航与控制:译文集
季刊
北京市142信箱403分箱8号
出版文献量(篇)
105
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1
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0
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