微纳米颗粒的激光去除

• 作者: 淮秀兰 金仁喜
• 来源期刊: 应用激光
• 关键词: 短脉冲激光加热 颗粒去除 微纳米 爆发沸腾
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 217-220,254
• 页数: 5页
• 字数: 5343字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-372X.2004.04.008

摘要

微纳米颗粒的去除是半导体、微电子、微型机械、精密光学等高新技术中的关键问题,而常规清洗方法难以有效去除.近年来国际上发展的DLC、SLC激光去除方法非常有效,本文对DLC、SLC的实验方法、去除机制、影响因素和规律等进行综述,指出了存在的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金仁喜	海军潜艇学院核动力教研室	19	150	7.0	11.0
3	淮秀兰	中国科学院工程热物理研究所	65	400	10.0	17.0