Sb对直流反应磁控溅射制备TiO2薄膜的影响

• 作者: 崔晓莉 张群 杨锡良 沃松涛 沈杰 章壮健 蔡臻炜
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 二氧化钛 直流磁控溅射 锑 红移
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 182-186
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.8|O484.4
• 字数: 3268字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2004.03.006

摘要

用直流磁控溅射方法在Si(100)面及载玻片上制备了Sb掺杂TiO2薄膜.利用XRD光谱研究了Sb对其薄膜结晶情况的影响,用AFM观察其表面形貌,利用分光光度计测量了TiO2薄膜的光学特性及其对亚甲基蓝的分解活性,通过测量和计算表面对水的接触角来衡量光致亲水性.研究结果表明纯TiO2薄膜为锐钛矿型,适量Sb的掺杂能使TiO2薄膜的结晶有显著改善,并出现Ti2O3和金红石相TiO2,薄膜的光催化活性和光致亲水性明显改善.随着掺杂量的增加,TiO2薄膜的吸收边逐渐红移.但Sb掺杂过量时,破坏了二氧化钛原有的晶格结构,光催化活性和光致亲水性也相应降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈杰	复旦大学材料科学系	79	645	12.0	22.0
2	张群	复旦大学材料科学系	110	917	15.0	24.0
3	沃松涛	复旦大学材料科学系	11	229	8.0	11.0
4	蔡臻炜	复旦大学材料科学系	6	59	4.0	6.0
5	崔晓莉	复旦大学材料科学系	42	1222	18.0	34.0
6	杨锡良	复旦大学材料科学系	22	512	13.0	22.0
7	章壮健	复旦大学材料科学系	41	667	16.0	24.0