四极质谱仪在光阴极转移系统中的应用

• 作者: 赵宝升 黄林涛
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 光阴极 转移系统 四极质谱仪 检漏
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 43-45
• 页数: 3页
• 分类号: TB774+.3|TN1
• 字数: 1425字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2004.06.010

摘要

介绍了四极质谱仪在光阴极转移系统中的应用.分别论述了四极质谱仪对光阴极转移系统的检漏原理与方法,并对系统内光阴极有害的主要残气成分进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵宝升	中国科学院西安光学精密机械研究所	47	371	11.0	16.0
2	黄林涛	中国科学院西安光学精密机械研究所	2	20	2.0	2.0