直拉硅单晶中的流动图形缺陷

• 作者: 乔治 任丙彦 刘彩池 周旗钢 张建峰 李养贤 王敬 郝秋艳
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 直拉硅单晶 FPDs 空洞 原子力显微镜
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 60-63
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.1
• 字数: 1718字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.01.012

摘要

用Secco腐蚀液对直径150mm p型(100)直拉硅单晶片进行择优腐蚀后,得到了流动图形缺陷(FPDs),并通过原子力显微镜(AFM)对其微观结构进行观察.实验发现,在FPDs缺陷的尖端存在有几百纳米的由(111)面构成的八面体空洞,这与Takeno等人的实验结果相反,他们认为FPD的端部是间隙型的位错环;实验还发现,FPD端部的空洞随腐蚀时间延长会逐渐变为圆形的浅坑直至最后消失.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任丙彦	河北工业大学信息功能材料研究所	31	241	9.0	14.0
2	刘彩池	河北工业大学信息功能材料研究所	63	305	11.0	14.0
3	郝秋艳	河北工业大学信息功能材料研究所	37	179	9.0	12.0
4	周旗钢		35	176	8.0	12.0
5	李养贤	河北工业大学信息功能材料研究所	51	362	12.0	17.0
6	王敬		16	83	5.0	8.0
7	乔治	河北工业大学信息功能材料研究所	4	16	2.0	4.0
8	张建峰	河北工业大学信息功能材料研究所	3	7	2.0	2.0