热壁化学汽相沉积Si基GaN奇异面

• 作者: 孙振翠 曹文田 王书运 薛成山 魏芹芹
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 热壁化学汽相沉积 GaN 奇异面
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 纳米材料与结构
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.55
• 字数: 1747字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2004.03.004

摘要

利用热壁化学汽相沉积在Si基上生长GaN薄膜.用扫描电镜(SEM)、选择区电子衍射(SAED)、X射线衍射(XRD)、傅里叶红外透射谱(FTIR)和荧光光谱(PL)对样品进行形貌、结构、组分和发光特性的分析.SEM显示在平滑的表面上出现了由绳状、树根状、项链状晶体组成的奇异面.FTIR、XRD和SAED显示生成的GaN奇异面呈六方纤锌矿多晶结构同时含有少量的碳污染.PL谱显示了不同于一般GaN发光谱的发光峰.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王书运	山东师范大学物理与电子科学学院	57	450	11.0	19.0
2	魏芹芹	山东师范大学物理与电子科学学院	14	58	4.0	7.0
3	薛成山	山东师范大学物理与电子科学学院	117	476	11.0	13.0
4	曹文田	山东师范大学物理与电子科学学院	18	40	3.0	5.0
5	孙振翠	山东师范大学物理与电子科学学院	15	52	4.0	6.0