永磁电子回旋共振等离子体化学气相沉积系统

• 作者: 刘毅 吴振宇 杨银堂 汪家友
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电子回旋共振 等离子体 永磁体 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 工业研究与应用
• 页码范围: 317-320
• 页数: 4页
• 分类号: O461.1
• 字数: 2829字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2004.04.020

摘要

研制了一台永磁ECR等离子体化学气相沉积系统.通过同轴开口电介质空腔产生表面波,利用高磁能积Nd-Fe-B磁钢块的合理分布形成高强磁场,通过共振磁场区域内的电子回旋共振效应产生大面积均匀的高密度等离子体.进行了ECR等离子体化学气相沉积氧化硅和氮化硅薄膜工艺的研究.6英寸片内膜厚均匀性优于95%,沉积速率高于100 nm/min,FTIR光谱分析表明薄膜中H含量很低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴振宇	西安电子科技大学微电子研究所	24	170	9.0	12.0
2	汪家友	西安电子科技大学微电子研究所	31	267	11.0	15.0
3	杨银堂	西安电子科技大学微电子研究所	420	2932	23.0	32.0
4	刘毅	西安电子科技大学微电子研究所	37	112	7.0	8.0