大面积等离子体聚合装置的研制

• 作者: 周先凯 李中华 王云飞 王敬宜
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 化学
• 关键词: 等离子体 聚合装置 卷绕机构
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 36-38,46
• 页数: 4页
• 分类号: O539|O634.4+1
• 字数: 2604字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2004.01.007

摘要

通过在原有射频放电平行平板等离子体聚合装置上增加卷绕机构,实现了大面积等离子体聚合镀膜.膜的最宽可达200 mm,镀膜速度可在0.01～5.00 mm/s范围内调节,薄膜可以正、反方向运动.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王敬宜		7	40	5.0	6.0
2	李中华		6	32	4.0	5.0
3	王云飞		9	63	5.0	7.0
4	周先凯		1	6	1.0	1.0