磁悬浮精密定位工作台设计与有限元综合分析

• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: CAD/CAE 磁悬浮 直线电机 光刻机 有限元法 电磁场分析 结构力学分析 模态分析 模态测试
• 年，卷（期）: 2004,（z2）
• 所属期刊栏目: 信息科学
• 页码范围: 217-222
• 页数: 6页
• 分类号: TP391.72
• 字数: 3646字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.z2.051

摘要

利用磁悬浮技术将工作台悬浮在导轨上,消除了摩擦和磨损,采用直线电机无接触驱动实现了工作台的精密定位.针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机的磁悬浮精密定位工作台进行了CAD结构设计,有限元电磁场分析,在采用有限元软件Ansys进行磁悬浮系统电磁场分析的基础上,将磁力计算结果调入CAE软件MSC PATRAN/NASTRAN中,磁力计算与结构力学综合分析计算,合理地评价了磁悬浮移动平台的性能.进行了磁悬浮工作台的模态测试,模态测试结果与有限元分析结果相符合,证明了文中的建模方法及分析计算结果是正确的.通过有限元分析与模态测试,找出了薄弱环节,对结构进行了改进.