Ni扩散LiNbO3脊形波导MZ调制器的制作技术

• 作者: 张瑞君
• 来源期刊: 集成电路通讯
• 学科: 工学
• 关键词: Ni扩散LiNbO3脊形波导 MZ调制器 湿法腐蚀 自对准
• 年，卷（期）: jcdltx,（2）
• 页码范围: 32-34
• 页数: 3页
• 分类号: TN761

摘要

最近几年，宽带光通信系统已成为开发热点，并大大促进了高速集成光学器件的研究与发展。LiNbO3电光调制器由于有带宽较宽、可抑制啁啾性能、波长独立性等优点，是宽带光通信系统必不可少的器件。目前LiNbO3调制器已取得很大进展，但由于LiNbO3具有高介电常数，使带宽受

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张瑞君	中国电子科技集团公司第44研究所	59	124	6.0	10.0