非化学计量比SbOx薄膜的结晶动力学研究

• 作者: 干福熹 方铭 李青会
• 来源期刊: 材料研究学报
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 SbOx薄膜 反应溅射 XRD DSC 结晶动力学
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TB383
• 字数: 2055字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-3093.2004.01.001

摘要

利用直流磁控反应溅射法在不同氧分压下制备了SbOx薄膜,对退火前后薄膜的X射线衍射(XRD)分析表明,退火后薄膜结构发生了从非晶态向晶态的转变.利用示差扫描量热法(DSC)测出不同升温速度条件下非晶态薄膜粉末的晶化峰温度,用Kissinger公式计算了材料的结晶活化能计算结果表明,随着溅射时氧分压的增加,薄膜的结晶活化能增加,而相应的非晶态与晶态之间的焓差则呈现出相反的变化趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	干福熹	中国科学院上海光学精密机械研究所	288	2527	23.0	29.0
2	方铭	中国科学院上海光学精密机械研究所	7	43	4.0	6.0
3	李青会	中国科学院上海光学精密机械研究所	64	410	12.0	16.0