二维纳米激光测量系统的研究

• 作者: 林玉池 赵美蓉 齐永岳
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米精度 激光干涉 位移测量 耦合差动
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 257-260
• 页数: 4页
• 分类号: TH744
• 字数: 2190字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2004.04.003

摘要

介绍了一种新型的纳米级精度的二维激光干涉测量系统.该系统以光学8倍频的耦合差动式干涉光路为基础,在获取大量测量数据的基础上,利用线性回归的方法对测量结果进行处理.系统结构设计简洁紧凑,符合阿贝原则和结构变形最小原则,与普通的迈克尔逊干涉仪相比具有光路布局对称性好,光程差倍增,抗干扰能力强等优点.通过与电容测微仪比对的方法对该系统进行检测.结果表明,该干涉测量系统的精度为10～12 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林玉池	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	135	1717	21.0	34.0
2	赵美蓉	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	97	969	15.0	26.0
3	齐永岳	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	25	239	8.0	14.0