脉冲磁过滤阴极弧等离子体制备四面体非晶碳膜

• 作者: 关秉羽 张成武 李国卿 柳翠
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 四面体非晶碳膜 磁过滤 拉曼分析 偏压
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 114-116
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 1229字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2004.04.027

摘要

介绍了脉冲磁过滤阴极电弧法制备四面体非晶碳膜(tetrahedral amorphous carbon即ta-C),并对制得的薄膜表面形貌、硬度、电阻等进行了测试.结果表明,脉冲磁过滤阴极电弧法制备的ta-C膜有优良的性能.拉曼光谱分析显示,制得的薄膜为非晶结构,有明显的sp3结构特征,符合ta-C膜的特征峰.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李国卿	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	58	411	12.0	16.0
2	关秉羽		4	27	3.0	4.0
3	柳翠	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	8	93	5.0	8.0
4	张成武	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	3	44	3.0	3.0