涂料施工用阴极电弧蒸发器

• 来源期刊: 涂料指南
• 学科: 工学
• 关键词: 涂料施工 阴极电弧蒸发器 转动棒 循环圆筒
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 83
• 页数: 1页
• 分类号: TQ639.3

摘要

在阴极电弧蒸发器是化学活性气体中用电弧将预定物理化学组合物的多组分少料涂覆于切割工具上且形成均匀膜厚的设备阴极是一个圆筒，随着末端的循环圆筒转动。在阴极蒸发末端有附加的相对于圆柱不动的同轴开口。转动棒如铬、钼、锆、铌被压人不动的开口中。