如何提高母盘制造质量

• 作者: 郭大祺
• 来源期刊: 记录媒体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 母盘 光刻胶 复制子 统计技术 工艺参数 铸液 激光波长 生产操作 水处理设备 氨基磺酸镍
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 44-47
• 页数: 4页
• 分类号: TQ596

摘要

【正】1．引言大家知道,影响复制子盘质量的因素很多,生产工程师在生产实践中不断地寻找解决的办法,但是母盘的质量不佳给复制子盘带来了不少困难,因此母盘的制造质量对子盘复制是非常重要的。为了提高母盘的制造质量,首先就要找出影响母盘质量的诸多因素,并从中确定主要因素,然后找出解决的办法,进而改善母盘的质量。这需要在生产中充分重视,不断地发现问题,利用统计技术和质量管理方法找出主要质量问题,从技术角度和管理角度去分析并解决,如此循环才能逐步提高母盘的质量。