微电子机械系统中转速测量的光学方法

• 作者: 何小元 姜益军 董海凤
• 来源期刊: 实验力学
• 学科: 物理学
• 关键词: 微电子机械系统 转速测量 灰度积分
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 109-112
• 页数: 4页
• 分类号: O348.1
• 字数: 1039字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4888.2004.01.020

摘要

利用显微测量技术和CCD图像传感器的线性积分成像特性,将数字图像处理技术与时间积分成像技术用于微电子机械系统(MEMS)中的转速测量.只需分别摄取被测物体上的标志点在静止状态下的时间积分图像和运动状态下的时间积分图像,即可测得物体在该段曝光时间内的转速.该方法对实验设备及实验条件要求较宽松.实验表明该方法对微系统中近似匀速转动时转速的测量是完全可行的,且具有较高的精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何小元	东南大学工程力学系	104	1108	17.0	27.0
2	姜益军	东南大学工程力学系	7	47	2.0	6.0
3	董海凤	东南大学工程力学系	2	19	2.0	2.0