用微光学技术制作位相型聚焦光栅

• 作者: 沐仁旺 纪宪明 韩良恺
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 物理学
• 关键词: 微光学元件 菲涅耳波带片 聚焦光栅
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 388-390
• 页数: 3页
• 分类号: O439
• 字数: 1902字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2004.05.016

摘要

根据菲涅耳衍射理论,采用微光学制作技术通过3次套刻,将8位相台阶的菲涅耳波带片和平面光栅组合制作在同一块基片上,构成同时具有色散分光和聚焦光谱线功能的位相型光栅.这种光栅具有较高的光谱分辨本领和衍射效率,而且光路简单,调节方便.实验测出的衍射效率大于71%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩良恺	南通师范学院物理系	20	48	5.0	6.0
2	纪宪明	南通师范学院物理系	14	20	3.0	4.0
3	沐仁旺	南通师范学院物理系	11	20	3.0	4.0