磁悬浮转子微陀螺的设计技术

• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁悬浮转子微陀螺 MEMS 设计 准LiGA技术 试验
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳科学与技术
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: O318
• 字数: 3487字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.z1.001

摘要

磁悬浮转子微陀螺利用电磁涡流实现微转子的悬浮支撑和高速旋转,是一种精度可达惯性级的新颖MEMS(Micro Electronic Mechanical System)陀螺.讨论和研究了这种新颖微陀螺的悬浮支撑、高速转动、位置检测及加矩稳定的原理,并给出了相应的微转子、定子悬浮线圈、旋转线圈、稳定线圈、传感电极的设计原则和方法.设计了一个转子直径2 200μm、厚度25 μm,定子线圈线宽10μm、厚度5μm,悬浮励磁频率10 MHz、旋转励磁频率2 MHz的微陀螺,解决了三维非硅准LiGA技术加工微陀螺中的引线、绝缘、摩擦柱成型问题,并进行了相关的陀螺悬浮旋转试验,该陀螺在空气环境下能够以1000 r/min旋转,悬浮高度200μm,说明这种陀螺的原理和设计方法是可行的.