离子束增强沉积碳膜及其在抑制电子发射中的应用

• 作者: 任琮欣 徐静芳 朱宏 柳襄怀 郑志宏 陈树德
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束增强沉积 碳膜 抑制电子发射
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 低能加速器技术、射线技术及应用
• 页码范围: 334-343
• 页数: 10页
• 分类号: TN124|TN305.3
• 字数: 7611字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2004.05.004

摘要

栅电子发射是影响行波管工作性能和制约其使用寿命的主要因素.国内研制的导弹雷达制导用行波管因存在严重的栅电子发射现象,寿命只有70 h,不能付诸军事应用.采用离子束增强沉积的方法在栅网表面沉积一层碳膜后,可有效地抑制栅电子发射,使行波管寿命超过了1 000 h,在军事和航天领域获得了成功应用.报导了低能离子束增强沉积类金刚石薄膜和高能离子束增强沉积类石墨碳膜的制备技术、结构性能及其在抑制栅电子发射中的应用和机理研究的结果.