激光微加工制作纳米气敏传感器阵列的工艺及特性研究

• 作者: 柏自奎 王爱华 谢长生
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: YAG激光微加工 纳米气敏传感器阵列 RuO2加热器
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 655-659
• 页数: 5页
• 分类号: TB383|TP212
• 字数: 2691字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2004.04.032

摘要

利用脉冲YAG激光微加工方法,在三氧化二铝陶瓷基片上一面集成了RuO2加热器,另一面集成了四单元电极制备了纳米气敏传感器阵列.对阵列的加热特性、热响应、温度分布及气敏性能作了深入的探讨.阵列单元平均能耗低于500 mW、热响应速度小于20 s、平面温度梯度小于5℃/mm、能充分拾取气敏材料的气敏信息,阵列气敏性能稳定性、重现性好.研究表明激光微加工方法制作纳米气敏传感器阵列是一种可控性好、灵活、方便、廉价的制作方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢长生	华中科技大学材料学院	348	4405	33.0	51.0
2	王爱华	华中科技大学材料学院	66	787	15.0	26.0
3	柏自奎	华中科技大学材料学院	9	127	6.0	9.0