基于时域傅里叶变换的波长移相算法

• 作者: 于瀛洁 张本好 焦云芳
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 移相算法 波长移相干涉技术 离散傅里叶变换
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 310-313
• 页数: 4页
• 分类号: TB96
• 字数: 3148字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2004.04.006

摘要

基于傅里叶变换的波长移相算法,是基于时域傅里叶变换和差分技术来实现干涉图处理.这种算法主要用于实现较粗糙轮廓或台阶件的光学检测.介绍了该算法的中心思想,指出了已有的Takeda算法的缺点,提出了改进算法.叙述了新算法的实现过程并进行了误差分析,最后给出了实验结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于瀛洁	上海大学精密机械工程系	80	791	16.0	24.0
2	张本好	上海大学精密机械工程系	3	39	3.0	3.0
3	焦云芳	上海大学精密机械工程系	2	32	2.0	2.0