显微激光拉曼光谱法鉴别SiC晶体的多型体结构

• 作者: 姜守振 徐现刚 李娟 李现祥 王丽 王继扬 胡小波 董捷 蒋民华 韩荣江
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 化学
• 关键词: 显微激光拉曼光谱法 碳化硅单晶 多型体鉴别 掺氮效应
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 页码范围: 877-881
• 页数: 5页
• 分类号: O657.37
• 字数: 3370字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.06.001

摘要

利用显微激光拉曼光谱法对掺氮6H-SiC单晶中的寄生多型体进行了鉴别,结果表明其中有4H-SiC和15R-SiC两种寄生多型体.不同SiC多型体的纵光学声子与等离子体激元的耦合模(LOPC模)表明:在掺氮6H-SiC单晶的生长条件下,6H-SiC的掺氮效应与4H-SiC存在明显差别,而与15R-SiC的掺氮效应相似.