鼓膜法测定纳米多孔氧化铝薄膜的弹性模量

• 作者: 伍小平 柳兆涛 缪泓 辜萍
• 来源期刊: 实验力学
• 学科: 工学
• 关键词: 阳极氧化铝膜 鼓膜法 电子散斑干涉术 弹性模量
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 34-38
• 页数: 5页
• 分类号: TB301
• 字数: 2362字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4888.2004.01.007

摘要

本文的多孔氧化铝薄膜含有直径均一、互相平行且与表面垂直的有序纳米孔阵列.它有广阔的应用前景.多孔氧化铝膜与氧化铝陶瓷材料的宏观力学性能有很大的区别.本文用鼓膜法结合实时电子散斑干涉(ESPI)技术,测量薄膜压力与离面位移的关系,再用周边固支平板小挠度模型计算出多孔氧化铝薄膜的宏观弹性模量.本实验中厚76微米的多孔氧化铝薄膜的宏观弹性模量为32.5GPa,比热压氧化铝陶瓷的弹性模量几乎小一个数量级,主要是由于晶相和细观结构不同造成的.这种方法较适合测量此类结构薄膜的力学性能.