激光干涉共焦显微镜

• 作者: 叶孝佑 徐毅 许婕 邵宏伟 金其海 陈允昌 高思田
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 共焦显微镜 双频激光干涉仪 测量 溯源
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 104-106
• 页数: 3页
• 分类号: TB92
• 字数: 1796字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2004.02.003

摘要

光学共焦显微镜现己广泛地应用于微机械、生物样品、材料及微电子器件的三维测量,但经典的光学共焦显微镜由于原理性限制,其分辨率与精确度远低于接触式传感器.现结合双频激光干涉仪和共焦显微镜的优点,使激光干涉共焦显微镜不仅横向分辨率高,而且使纵向分辨率达到0.1nm,扩展不确定度U95=13.4 nm,使之能测量纳米量级形位变化,而且测量值直接溯源至激光波长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈允昌		6	127	6.0	6.0
2	叶孝佑		44	254	10.0	13.0
3	高思田		93	567	11.0	19.0
4	许婕		10	134	8.0	10.0
5	徐毅		15	320	10.0	15.0
6	邵宏伟		20	99	5.0	9.0
7	金其海		3	38	2.0	3.0