软X射线多层膜光栅

• 作者: 张立超 曹健林 曹召良
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 软X射线 多层膜 光栅
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 综述报告
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TN2
• 字数: 3694字
• 语种: 中文

摘要

详细介绍了软X射线多层膜光栅的国内外发展概况和广阔的应用领域,全面分析了它的制作工艺,并指出制作多层膜光栅的关键技术及解决方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张立超	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	31	306	10.0	16.0
2	曹召良	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	26	254	10.0	15.0
3	曹健林	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	37	328	10.0	17.0