用聚焦离子束技术加工衍射-折射微透镜阵列的研究

• 作者: YonqqiFu BryanKokAnnNgoi 李浏
• 来源期刊: 云光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 聚焦离子束 微透镜阵列 淀积 半宽度 衍射微透镜 衍射光学元件 数值孔径 折射 波象差 连续
• 年，卷（期）: ygjs_2004,（3）
• 页码范围: 42-47
• 页数: 6页
• 分类号: TH74

摘要

详细介绍用聚焦离子束(FIB)微加工连续凹凸平凸折射与衍射微透镜的工艺过程。加工采用两种技术，即聚焦离子束铣和聚焦离子束诱导淀积SiO2。设计并用FIB铣削法加工了两种微透镜阵列，一种是9×9微衍射光学元件(DOEs)阵列，单个元件的f数为2，数值孔径(NA)为0．25；另一种是9×9折射微透镜阵列，单个透镜的直径为60μm，NA为0．1，f数为5。此外，利用FIB诱导淀积SiO2方法加工了微透镜。透镜轮廓和聚焦特性，分别用WYKO NT2000干涉仪和BeamScop-5PTM光传感仪作了测量。衍射透镜阵列和折射透镜阵列的聚焦光点大小分别为6．7μm(半宽度)和5．1gm(1／e^2处)。用铣削法加工的衍射光学元件，在直径27μm以内，RMS厚度误差为11nm，折射透镜在直径60gm以内RMS厚度误差为15nm。它们的波象差分别为1．7和1．5。