微透镜阵列的制作及其与图像传感器的集成

• 作者: 易新建 柯才军 赖建军 陈四海
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 微透镜阵列 图像传感器 填充系数
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 183-187
• 页数: 5页
• 分类号: TN386.5
• 字数: 4243字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2004.03.006

摘要

介绍了利用硅、熔融石英和聚酰亚胺等材料制作折射和衍射微透镜阵列的工艺和结果,以及这些微透镜阵列分别与红外、可见光图像传感器的集成应用.微透镜与红外256×256PtSiCCD的集成结果表明,微透镜填充系数提高了2.3倍,成像质量明显改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	易新建	华中科技大学光电子工程系	102	1261	21.0	29.0
2	陈四海	华中科技大学光电子工程系	46	459	12.0	18.0
3	赖建军	华中科技大学光电子工程系	30	317	10.0	16.0
4	柯才军	华中科技大学光电子工程系	7	71	4.0	7.0