类富勒烯纳米晶CNx薄膜及其场致电子发射特性

• 作者: 姚宁 张兰 张兵临 李会军 杨仕娥 胡欢陵 马会中
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 类富勒烯 CNx薄膜 场致电子发射 微波等离子体增强化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 883-887
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 2243字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.03.043

摘要

利用微波等离子体增强化学气相沉积技术制备出了CNx薄膜,并利用x射线光电子能谱、x射线衍射、扫描电子显微镜和Raman光谱等测试手段对所制备的CNx薄膜的微结构和成分进行了分析.研究了其场致电子发射特性.发现薄膜的结构和场发射特性与反应系中的甲烷、氮气及氢气的流量比有关,当甲烷、氢气及氮气流量比为8/50/50sccm时,制备的薄膜具有弯曲层状的纳米石墨晶体结构(类富勒烯结构)和很好的场发射特性.场发射阈值电场降低至1.1V/μm.当电场为5.9V/μm时,平均电流密度达70μA/cm2,发射点密度大于1×104cm-2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚宁	郑州大学物理工程学院	122	692	12.0	18.0
2	张兵临	郑州大学物理工程学院	95	608	12.0	18.0
3	张兰	郑州大学工程力学系	68	325	8.0	14.0
5	杨仕娥	郑州大学物理工程学院	68	513	12.0	18.0
6	胡欢陵	中国科学院安徽光学精密机械研究所	62	860	16.0	27.0
7	马会中	郑州大学工程力学系	28	78	6.0	7.0
10	李会军	郑州大学物理工程学院	7	70	5.0	7.0