深高宽比微结构的干法刻蚀

• 作者: 张永胜 汪力 王旭迪 胡焕林
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 微结构 深高宽比 干法刻蚀
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 32-34
• 页数: 3页
• 分类号: TN3
• 字数: 2368字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2004.05.008

摘要

介绍了深高宽比微结构在干法刻蚀过程中遇到的刻蚀滞后、刻蚀中止、侧壁弯曲和开槽效应等与传统器件刻蚀不同的现象,讨论了制作高深宽比结构所需的关键技术和检测手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张永胜	合肥工业大学机械与汽车工程学院	5	41	4.0	5.0
2	王旭迪	合肥工业大学机械与汽车工程学院	40	192	9.0	12.0
3	胡焕林	合肥工业大学机械与汽车工程学院	14	79	6.0	8.0
4	汪力	合肥工业大学机械与汽车工程学院	3	37	2.0	3.0