光刻技术在铟柱制备工艺中的应用研究

• 作者: 张丽华 李玉英 杨春丽 杨登全 黄江平 黎力
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻 铟柱制备 剥离
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 67-70
• 页数: 4页
• 分类号: TN214
• 字数: 2936字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2004.01.018

摘要

简要介绍了光刻在128×128混合式非制冷热释电焦平面(UFPA)探测器制作中的重要地位,重点介绍了光刻在铟柱制备中的应用研究.对铟柱成形的几种方法进行了比较,确定了剥离法制备铟柱.并进行了光刻实验与分析,得到了满足128×128混合式非制冷热释电焦平面器件倒装互连的铟柱.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄江平		12	58	5.0	7.0
2	李玉英		5	24	3.0	4.0
3	杨登全		6	24	2.0	4.0
4	杨春丽		5	27	3.0	5.0
5	黎力		2	17	2.0	2.0
6	张丽华		2	17	2.0	2.0