一个基于直方图的纳米尺度线宽计算模型

• 作者: 王凌 王飞 肖增文 褚巍 赵学增
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米线宽 计算模型 直方图 原子力显微镜
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 理论与实验
• 页码范围: 3-6
• 页数: 4页
• 分类号: TN3
• 字数: 1740字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2004.03.001

摘要

用原子力显微镜(AFM)来测量纳米线宽近几年发展迅速.针对AFM能对纳米线宽表面三维成像的特点,本文提出了一个直方图线宽计算模型,并通过实验数据同其他模型进行了比较.该线宽计算模型具有算法简单、抗干扰能力强的优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵学增		133	1496	19.0	30.0
2	王飞		47	225	7.0	12.0
3	褚巍		17	111	6.0	9.0
4	肖增文		14	87	6.0	8.0
5	王凌		5	34	3.0	5.0