制备NiO电致变色薄膜的低电压反应离子镀工艺研究

• 作者: 任豪 李筱琳 罗宇强
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: NiO 电致变色 低压反 应离子镀
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 专题论述
• 页码范围: 21-24
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 3528字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2004.02.005

摘要

采用低电压反应离子镀工艺制备NiO电致变色薄膜,重点研究不同的氧气分压对NiO薄膜的电致变色特性的影响,通过与普通电子束蒸发工艺制备的NiO薄膜进行物理性能和电致变色性能的比较,以及在塑料基板上制备NiO电致变色薄JP2 膜的讨论,总结出低电压反应离子镀技术制备NiO电致变色薄膜的工艺和优势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗宇强		20	87	6.0	8.0
2	李筱琳		7	33	4.0	5.0
3	任豪		35	185	8.0	12.0