MOD法制备掺钐钛酸铋铁电薄膜

• 作者: 王卓 王弘 王民 许效红 韩辉
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: MOD 电容-电压(C-V)曲线 旋转甩膜 铁电薄膜
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 单晶、薄膜及其他功能材料
• 页码范围: 408-410
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 2167字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2004.05.020

摘要

利用MOD法在电阻率为5～6 Ω·cm的n-Si(100)衬底采用旋转甩膜工艺制备了Sm0.85Bi3.15Ti3O12(SBT-0.85)铁电薄膜,研究了薄膜的结晶性能和电学性能.结果表明,在700℃下退火1 h得到的Sm0.85Bi3.15Ti3O12薄膜具有良好的铁电、介电和绝缘性能.在±5 V的范围内,电容-电压(C-V)曲线记忆窗口宽度为3.6 V;在室温1 000 kHz下,其介电常数为45,介电损耗为0.04;在3 V电压下,薄膜的漏电流为3×10-8A.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王卓	山东大学晶体材料国家重点实验室	18	63	5.0	7.0
2	王民	山东大学晶体材料国家重点实验室	27	290	7.0	16.0
3	许效红	山东大学化学院	28	380	10.0	19.0
4	王弘	山东大学晶体材料国家重点实验室	23	157	7.0	12.0
5	韩辉	山东大学晶体材料国家重点实验室	49	237	8.0	12.0