有害气体的抽除与清洁真空的获得

• 作者: 于治明 巴德纯 杨乃恒 王晓冬
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 有害气体 清洁真空 真空获得
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 15-20
• 页数: 6页
• 分类号: TB75
• 字数: 7975字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2004.04.005

摘要

主要介绍了几种工艺条件下使用的干式真空系统对有害气体的抽除和清洁真空的获得方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓冬	东北大学真空与流体工程研究中心	64	366	10.0	15.0
2	巴德纯	东北大学真空与流体工程研究中心	250	1491	18.0	22.0
3	杨乃恒	东北大学真空与流体工程研究中心	40	356	12.0	17.0
4	于治明	东北大学真空与流体工程研究中心	8	95	6.0	8.0