等离子体聚合工艺对聚合沉积速率的影响

• 作者: 刘睿睿 孙鸿 潘长江 王进 黄楠
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体聚合工艺 正丙醇 丙烯醇 沉积速率
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 455-458
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1|TB324
• 字数: 2681字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2004.06.016

摘要

利用等离子体聚合的方法对两种有机单体(正丙醇和丙烯醇)进行了等离子体聚合,成功地在Si基体上沉积了高分子薄膜.利用XPS研究了薄膜的结构和不同工艺对沉积速度的影响.研究表明,随着功率的增加或工作气压的增加,沉积速率增加;偏压的增加使等离子体聚合的沉积速率减小.研究还发现,丙烯醇含有双键结构,其沉积速率比正丙醇大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄楠	西南交通大学生物材料与表面工程研究所	160	1147	19.0	27.0
2	王进	西南交通大学生物材料与表面工程研究所	28	254	9.0	15.0
3	孙鸿	西南交通大学生物材料与表面工程研究所	46	334	10.0	15.0
4	潘长江	西南交通大学生物材料与表面工程研究所	8	136	5.0	8.0
5	刘睿睿	西南交通大学生物材料与表面工程研究所	2	7	2.0	2.0