纳米二氧化钛薄膜的磁控溅射制备和结构特性表征

• 作者: 刘彭义 叶勤 叶海 唐振方 张丽丽
• 来源期刊: 暨南大学学报(自然科学与医学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控溅射 TiO2薄膜 热处理 晶相转变
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 293-296,301
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2158字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9965.2004.03.010

摘要

用磁控溅射方法制备出纳米二氧化钛(TiO2)薄膜,对制膜的工艺参数进行了详细的测试分析. X射线衍射(XRD)分析表明退火温度提高,TiO2薄膜结晶度增加,800℃下退火2 h,TiO2薄膜完全转化为金红石结构,其分子式为Ti8O15,出现氧空位.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶勤	暨南大学物理系	37	351	11.0	16.0
2	唐振方	暨南大学物理系	48	418	11.0	18.0
3	刘彭义	暨南大学物理系	53	370	10.0	18.0
4	张丽丽	暨南大学物理系	11	115	5.0	10.0
5	叶海	暨南大学物理系	4	81	3.0	4.0