MOCVD反应器的数学模型及其数值模拟

• 作者: 王贞涛 罗惕乾 陈燕
• 来源期刊: 排灌机械
• 学科: 工学
• 关键词: 金属有机化学气相沉积 数学模型 流场 温度场 数值模拟
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 流体力学
• 页码范围: 39-41
• 页数: 3页
• 分类号: TN304
• 字数: 2042字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-8530.2004.04.013

摘要

以垂直金属有机化学气相沉积(MOCVD)反应器沉积GaN为对象,建立了反应器内部数学模型.模型中包括了流动、传热和传质方程.通过应用非结构化网格划分复杂模型,在此基础上,计算了反应器中流场和温度场的分布.计算结果对于分析轴向对称立式MOCVD反应器中热量和动量输运现象均有普遍指导意义,为优化设计MOCVD反应器提供了理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗惕乾	江苏大学能源与动力工程学院	61	815	16.0	25.0
2	陈燕	江苏大学能源与动力工程学院	48	487	11.0	21.0
3	王贞涛	江苏大学能源与动力工程学院	63	582	14.0	21.0