扫描电子显微镜在半导体工艺中的应用技术研究

• 作者: 徐宁 李宏 林厚军 王嵩宇 苏秀娣 袁凯 许仲德
• 来源期刊: 微处理机
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电子显微镜 解理 缀饰
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 大规模集成电路设计、制造与应用
• 页码范围: 10-11
• 页数: 2页
• 分类号: TN3
• 字数: 1437字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2279.2004.03.004

摘要

针对半导体工艺的需要,本文提供了利用扫描电子显微镜进行分析的机理及采用的关键手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁凯		11	8	1.0	2.0
2	许仲德		8	6	1.0	1.0
3	王嵩宇		2	0	0.0	0.0
4	徐宁		1	0	0.0	0.0
5	苏秀娣		4	2	1.0	1.0
6	李宏		2	2	1.0	1.0
7	林厚军		1	0	0.0	0.0