一种可适应复杂互连电容结构的边界元形体处理方法

• 作者: 喻文健 王泽毅 王玉刚 陆涛涛 陈瑞明
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 寄生电容 复杂互连结构 边界元法 形体处理
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 214-220
• 页数: 7页
• 分类号: TN47
• 字数: 3810字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.02.018

摘要

针对当前集成电路中日益复杂的互连结构,提出了一种边界元电容提取中的形体处理方法,可适用于填充气隙、保形介质、多平面介质,以及任意复杂的寄生电容结构.在该处理方法中采用多叉树组织三维形体对象,并有效地生成区域边界表面的信息.数值实验表明,该方法拓宽了边界元电容提取处理复杂结构的能力,且具有较高效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王玉刚	清华大学计算机科学与技术系	11	64	4.0	8.0
2	喻文健	清华大学计算机科学与技术系	29	100	5.0	8.0
3	王泽毅	清华大学计算机科学与技术系	35	124	6.0	9.0
4	陆涛涛	清华大学计算机科学与技术系	6	21	3.0	4.0
5	陈瑞明	清华大学计算机科学与技术系	3	4	1.0	2.0