电磁激励的单晶Si微反射镜光开关的设计与制作技术

• 作者: 廖光炳
• 来源期刊: 光子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光子开关系统 电磁力 微光机电系统 光开关
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 135-138
• 页数: 4页
• 分类号: TM5
• 字数: 1930字
• 语种: 中文

摘要

介绍了电磁激励Si微反射镜偏转的光开关的结构,工作原理和制作技术.光开关单元由单晶Si反射镜板、A1弹簧、A1格子、磁性材料、夹持电极、锁挡、矩形杠杆和外磁场组成.通过控制光开关单元的箝位电压、夹持电压和外磁场,可实现独立寻址的光开关阵列.器件制作使用了表面和体微机械工艺(如电镀、体湿法腐蚀和XeF2的深反应离子腐蚀等)工艺.这种器件可实现任一反射镜偏转角的光开关,最大偏转角可达90°.这种光开关是目前极力推崇的全光网络光开关.