He-Ne拍波激光干涉仪的研究

• 作者: 周肇飞 张涛 朱目成
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 大尺寸 双纵模 节点 拍波干涉
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 测量和防护
• 页码范围: 531-533
• 页数: 3页
• 分类号: TN248.2|TH744.3
• 字数: 1764字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2004.05.024

摘要

介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密测量的方法和装置.装置以双纵模热稳频He-Ne激光器为光源.理论及实验均证明该光源的频差有较高的稳定度(室外不低于1×10-7)和强的抗干扰性,拍波频率约为750MHz,拍波长约为400mm.该装置以拍波合成的场强信号的节点为对准标志,以光路组合形成的双频激光干涉仪测量尾数部分.实验表明,该装置的节点定位精度小于0.05mm, 尾数测量部分分辨率为0.08μm,整个测量系统可在20m范围内进行精度为±50μm+1.5×10-6*L( L为被测长度,单位为m)的测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱目成	四川大学激光应用技术研究所	74	375	10.0	15.0
3	张涛	四川大学激光应用技术研究所	178	773	14.0	19.0
4	周肇飞	四川大学激光应用技术研究所	37	432	12.0	20.0