微光机电系统(MOEMS)研究综述

• 作者: 付博 赵月月
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 微光机电系统(MOEMS) 微机电系统(MEMS)
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: 技述综述
• 页码范围: 11-17
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.14
• 字数: 6498字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2004.10.002

摘要

在过去的十几年里,随着微机械加工技术的惊人发展,微机电系统(MEMS)与光学技术的结合应用成为可能,这种结合体被称为微光机电系统(MOEMS).作为一个新兴的多学科交叉的研究领域,其也成为了光学器件发展的新方向.本文阐述了MOEMS基本理论、方法;介绍了MOEMS技术在国内外的发展现状及这一技术最新取得的进展;分析了光学系统中引入MEMS的重要性;列举了一些有代表性的MOEMS器件,并介绍了它们的制作过程以及它们与其它常规器件相比的性能优势;最后描绘了MOEMS技术的发展前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付博	北京理工大学光电工程系	5	33	3.0	5.0
2	赵月月	北京科技大学信息工程学院	1	24	1.0	1.0