纳米金刚石膜的研究与应用

• 作者: 王光祖
• 来源期刊: 磨料磨具通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米金刚石膜 制备方法 工艺 结构表征 气氛 CVD金刚石膜 应用前景 基团 微波等离子体 国家实验室
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.444

摘要

自美阿贡国家实验室的Gruen等在1994年首次报道，使用微波等离子体CVD工艺在Ar气氛中引入少量C60制备纳米金刚石膜以来，纳米金刚石膜已成为CVD金刚石膜研究领域的一个新的热点，在国内外的学术刊物上有关纳米金刚石膜的研究报道不断涌现，但是，由于纳米金刚石制备方法的多样性和结构表征的复杂性，迄今为止在不少问题上仍然存在争议。本文仅就纳米金刚石膜的沉积与C2基团，纳米金刚石膜的表征和纳米金刚石膜的应用前景做了一简要的阐述，以引起众多研究工作者对这项具有创新性的研究成果予以关注。