基于FPGA的太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机控制系统的设计

• 作者: 冯政权 王彦
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 可编程逻辑器件 超高速硬件描述语言 人机界面触摸屏 太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 48-51
• 页数: 4页
• 分类号: TP332.3
• 字数: 2223字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2004.02.014

摘要

介绍了基于FPGA的太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机控制系统的整体设计和工程实现过程.该设计以可编程逻辑器件为核心控制部件,它由工序控制流程模块、参数设置及调用模块和通讯模块三个模块组成;并基于超高速硬件描述语言在Xilinx公司SpartanⅡ系列的XC2S2005PQ-208芯片上编程实现;结合先进的人机界面触摸屏,直观地监控整个工艺过程,实现对太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机较理想的控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王彦	南华大学电气工程学院	76	339	11.0	15.0
2	冯政权	南华大学电气工程学院	3	0	0.0	0.0