微机电器件的稳健设计

• 作者: 何叶 李磊民 杨涛 魏东梅
• 来源期刊: 工程设计学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微加工 稳健设计 Taguchi设计 优化
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 124-127
• 页数: 4页
• 分类号: TN4|TB472
• 字数: 3704字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1006-754X.2004.03.003

摘要

微机电系统(MEMS)是一个新兴的跨学科研究领域,成本和可靠性是MEMS商品化的关键.与传统的机械加工和IC加工相比,MEMS加工的尺寸偏差比较大,而且很难控制,因此需要在设计过程中充分考虑加工的不确定性.稳健设计可以在不提高制造成本的前提下提高设计方案的稳健性.稳健优化设计方法主要包括Taguchi方法和基于容差模型的方法,后者特别适合于处理带约束的优化设计问题.以微加速度计和微阀为例给出了稳健设计在MEMS设计中的应用,验证了稳健设计可以显著提高MEMS器件的信噪比.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李磊民	西南科技大学信息与控制工程学院	85	586	12.0	19.0
2	杨涛	西南科技大学信息与控制工程学院	105	829	13.0	24.0
3	何叶	西南科技大学信息与控制工程学院	8	70	4.0	8.0
4	魏东梅	西南科技大学信息与控制工程学院	17	290	6.0	17.0