纳米级大尺度超精密线位移测量方法的研究

• 作者: 田世杰 蒋庄德 赵惠英
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 纳米级 超精密 大尺度 宏微线位移检测
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 215-218
• 页数: 4页
• 分类号: TB92
• 字数: 3002字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2004.03.006

摘要

在研究纳米级超精密机床的检测过程中,针对机床的加工要求,提出了纳米级大尺度超精密线位移误差的检测采用宏微线位移测量方法,并应用于超精密机床的检测.检测结果表明,该方法可以利用现有精密测量仪器满足检测超精密机床的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德	西安交通大学精密工程研究所	165	1512	18.0	28.0
2	田世杰	西安交通大学精密工程研究所	7	90	7.0	7.0
3	赵惠英	西安交通大学精密工程研究所	20	144	8.0	11.0