纳米电子学

• 作者: 郭树田
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米电子学 纳米技术 微电子技术 集成电路
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 纳米器件与技术
• 页码范围: 6-13,24
• 页数: 9页
• 分类号: TN4
• 字数: 11113字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2004.03.002

摘要

纳米电子学是纳米技术的重要科学基础,纳米电子学将成为21世纪信息时代的科学核心,将使未来社会产生重大变革.本文介绍了纳米电子学的基本概念、纳米电子学的产生、纳米电子学的研究内容、纳米器件的基本结构及工作机理、纳米结构的微加工技术、纳米结构的检测与表征、纳米电子学的应用及发展对策.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭树田	中国电子科技集团公司第二十四研究所	3	13	1.0	3.0