PLC在ECR等离子源设备中的应用

• 作者: 吕鑫 彭辉俊 程健
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: ECR等离子源 PLC 设备控制
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 分类号: TP271
• 字数: 2183字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2004.05.007

摘要

简要地介绍了ECR等离子源设备的特点和测控要求,给出了以PLC为主实现设备控制的方法.系统的硬件由触摸屏(或上位机)、PLC控制器和信号调理电路部分构成;软件由二次开发的触摸屏运行的组态监控软件、PLC运行软件以及可选的基于PC机的上位机软件组成.整个控制系统可实现现场手动操作、触摸屏(或上位机)手动操作及全自动控制运行,能进行等离子体参数如电子温度、离子密度、空间电位等的测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程健	中国科学技术大学自动化系	91	589	12.0	21.0
2	吕鑫	中国科学技术大学自动化系	10	75	5.0	8.0
3	彭辉俊	中国科学技术大学自动化系	8	39	2.0	6.0