大口径平面光学元件超精密加工技术的研究

• 作者: 杨福兴
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学元件 超精密 加工
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 光学工艺
• 页码范围: 27-29
• 页数: 3页
• 分类号: TH161+.1|TG580.61
• 字数: 2682字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2004.01.002

摘要

为了解决激光核聚变装置中大口径平面光学元件的批量制造难题,将先进制造技术和传统抛光技术相结合,提出了一种新的工艺方法,即使用ELID(在线电解)磨削代替传统的铣磨和初抛工序,以提高生产效率.利用数控抛光将工件抛光至最终的面形精度,以提高生产效率和减少边缘效应.将连续抛光作为最终加工工序,使加工工件的表面粗糙度和波纹度达到工程要求.实验证明这一新的工艺方法是可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨福兴	北京邮电大学自动化学院	36	400	11.0	19.0