磁悬浮转子微陀螺的微细加工工艺研究

• 作者: 何淼 吴校生 张卫平 赵小林 陈文元
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁悬浮 微陀螺 微细加工 线圈 转子
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 68-72
• 页数: 5页
• 分类号: TN389
• 字数: 2706字
• 语种: 中文

摘要

介绍了磁悬浮转子微陀螺的工作原理及有关的微细加工工艺.磁悬浮转子微陀螺的平面线圈是采用光刻、电镀及溅射等微细加工方法来实现的,微转子的加工有冲压、蒸铝沉积等方法,其中冲压能得到质量较好的微转子;上壳体采用体硅腐蚀来制作.初步的实验表明该方案是行之有效的.